الأنظمة العنقودية
تقدم AURION أنظمة متعددة الحجرات مع مناولة الركيزة تحت التفريغ المصممة حسب احتياجاتك. تشمل التكوينات المتوفرة غرف قفل التحميل وغرف النقل ووحدات المعالجة لعمليات الرذاذ وعمليات RIE.
الأنظمة المضمنة
تقدم AURION أنظمة مضمنة (تمريرية) مع نقل الركيزة تحت التفريغ المخصص لاحتياجاتك. تشمل التكوينات المتوفرة غرف قفل التحميل وغرف المعالجة المسبقة وغرف التفريغ. تتوفر تخطيطات رأسية وأفقية.