السرعة، أو الدقة، أو ثنائية الأبعاد أو ثلاثية الأبعاد - اعتمادًا على التطبيق، يكون للمصنعين أولويات مختلفة عند فحص منتجات أشباه الموصلات. تقدم Comet Yxlon مجموعة متنوعة من أنظمة الفحص بالأشعة السينية والتصوير المقطعي المحوسب المصممة خصيصًا لمهام فحص محددة.
الفحص بالأشعة ثنائية الأبعاد
- توليد سريع للصور، مثالي لعمليات الفحص أثناء العملية
- التطبيق الرئيسي: التغليف التقليدي
- فحص الروابط السلكية البسيطة والفيافات ومطبات اللحام
- متوفر مع تشيتا وكوغار - أفضل صورة في أقصر وقت مع دقة أقل من ميكرومتر
تصوير التصفيح بالكمبيوتر (CL)
- تحديد الخصائص المكانية للمكونات وكذلك موضع العيوب وحجمها
- التطبيق الرئيسي: التغليف المتقدم
- فحص العينات للحزم متعددة الطبقات والأجهزة المتكاملة
- متوفر في جهازي Cheetah و Cougar مع مسار الحزمة الرأسي وأعلى دقة وكذلك في نظامي FF20 CT و FF35 CT مع مسار الحزمة الأفقي
التصوير المقطعي المحوسب ثلاثي الأبعاد
- قياسات ثلاثية الأبعاد لتحديد الخصائص المكانية وموضع العيب وأبعاده
- التطبيق الرئيسي: التحليل التفصيلي للعيوب
- متوفر مع نظامي FF20 CT وFF35 CT مع التشغيل البديهي بفضل واجهة المستخدم Geminy وكإضافة مع نظامي Cheetah وCoogar
- قياس التصوير المقطعي المحوسب